1.   设备名称：氦质谱检漏仪；

2.   设备型号：HTGE010；

3.   设备技术参数：

3.1.   最小可检漏率：5x10-13Pa.m3/s；

3.2.   漏率显示范围：1x10-3—1x10-13Pa.m3/s；

3.3.   进气口最高压强：1500Pa；

3.4.   启动时间：≤3min；

3.5.   响应时间：<1s；

3.6.   粗抽泵抽速：4L/s；

3.7.   重量：80kg；

4.   使用性能：

该检漏仪具有高灵敏度，最小可检漏率5x10-13Pa.m3/s，支持正压、负压检漏。可自动跟踪背景，提供快速可靠的检漏结果，优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。支持氮气破空，快速降低背景，采用进口的核心部件和工艺确保检漏仪长期可靠，采用双铱丝离子源，可自动切换，具有超快速保护功能，有效防止大气冲入。