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2. 设备型号:HTLN-CZK-350L-II; 3. 设备技术参数: 3.1 前级泵(进口德国莱宝或国产) a) 电压:220V,使用功率≤0.9KW b) 名义抽速:31.4m3/h(8.7L/s); c) 连接口:KF25; 3.2 分子泵(进口德国莱宝或国产) a) 与机械泵配套使用整体电压:220V,单独分子泵电压:24/48±10VDC,使用功率约0.2Kw; b) 抽速:350L/s; c) 极限压强≤5x10-5Pa; d) 额定转速:60000rpm; e) 冷却型式:风冷; 3.3 系统漏率≤1x10-9Pam3/s 3.4 真空测量范围:1x10-6Pa -1x105Pa 3.5 工位数:单工位 3.6 机械泵部分和分子泵部分采用分体式设计 3.7 分子泵具有自动启停保护功能,当系统真空度达到设定值(可在10Pa以下任意设定)分子泵启动,否则无法启动。 |